能研8745 - 氣體流量控制器 (MFC)/流量測量儀的操作使用

8745 型質量流量控制器/質量流量計適用于大量氣體的質量流量調控。8745 型設備可以根據需要配置為 MFM 或 MFC。

可以選擇校準四種不同的氣體。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達到非常快的響應速度。

一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件，確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器，令 MFC 具備的控制特性。

8745 型作為 MFC 提供兩種規格：帶電磁比例閥和帶電動比例閥

以下是一份氣體質量流量控制器的一般使用說明：

一、安裝

1. 選擇合適的安裝位置，確保環境溫度、濕度等符合設備要求。

2. 按照設備手冊正確連接氣體入口和出口管路，注意密封良好。

二、預熱

在使用或長時間未使用后，需進行適當時間的預熱，以確保測量準確性。三、設置與操作

1. 通過控制面板或配套軟件設置所需的流量值。

2. 可根據需要選擇不同的單位（如 SCCM、SLPM 等）。

3. 確認設定的氣體類型與實際使用的氣體相符。

四、運行與監測

1. 開啟氣體供應，觀察流量顯示是否穩定在設定值附近。

2. 定期檢查顯示數值與實際需求是否一致。

五、維護與保養

1. 定期清潔設備表面，防止灰塵等雜質影響性能。

2. 按照規定的時間間隔進行校準，以保證測量精度。

3. 如發現故障或異常，應及時停止使用并聯系專業人員維修。

六、注意事項

1. 嚴格按照設備規定的壓力、溫度范圍操作。

2. 避免強烈震動和沖擊。

3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求，務必遵循相關規定。